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顯微CT設備的三個主要組件是X射線源，旋轉控製台和探測器。X射線源到探測器的距離和X射線源到掃描目標的距離決定了顯微CT掃描的幾何放大率以及3DCT部件模型的體素大小。X射線設備產品家族中提供的可變X射線源到探測器距離的運用，對於產品檢測中獲得精確數據至關重要。
 
顯微CT掃描的輸出是部件的3D模型，在此模型上可以執行非常精確的測量，而不需要任何形式的接觸，切割或破壞。CT還可以對材料進行檢查並識別內部缺陷，例如空隙，裂縫等。在檢測複合材料時，CT還可以用作分層識別。
 
顯微CT設備的分辨能力：是工業CT設備的關鍵性能指標。包括：空間分辨率：是指從CT圖像中能夠辨別最小物件的能力。密度分辨率：它是利用圖象的灰度去分辨被檢物材質的基本方法（因為灰度是直接反映密度的）。空間分辨率與密度分辨率的關係。在輻射劑量一定的情況下，空間分辨率與密度分辨率是相互矛盾的兩個指標。
 
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